德国 施瓦茨 迪纳
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| 配件选装指南 |
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13.56MHz射频发生器
2.45GHz射频发生器
半自动控制系统
全自动控制系统 - 操作轻松简便的控制系统
计算机(PC)控制系统 - 操作轻松简便的控制系统同时可记录处理的整个过程
附加气体通路
自动真空舱门
设备自动门
条码阅读器
偏压测量系统
碟型阀
排气过滤系统
适用于腐蚀性气体系统
舱体托盘可订做 - 适合舱体的最佳尺寸
粉末处理装置
法拉第容器
气体供给系统 - 在等离子聚合过程中提供密度均匀的单体
玻璃舱体(硅酸盐或石英)
预热板
等离子测量传感器 - 应用在等离子聚合过程和含腐蚀性环境中
真空泵抽气入口过滤器
标签打印机
标签阅读机
加深舱体
单体瓶 - 轻松的控制不稳定的液体含量
网络连接系统
聚合处理附件
气瓶出气减压阀
石英玻璃皿
卷轴舱体系统 - 适用于批量处理薄膜、箔等
RIE电极(适用于刻蚀)
旋转舱体系统 - 适用于纤维、纺轮、颗粒状等样品的均匀、批量处理
安全阀
服务条约 - 使用易燃、易爆性气体，例如：氢气、乙炔…
附加的配件
特殊的电极和托
特殊法兰/附加法兰
特殊软件
特殊真空舱体
过程温度测量
测试墨水(用于测试表面接触角)
真空泵系统
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