标准型号/Plasma Cleaning Standard

标准型号/Plasma Cleaning Standard 在线式/Plasma Cleaning Online 非标定制/Plasma Custom Made 等离子刻蚀机/Plasma Etching 客户现场应用/Customer Application 行业应用/Industry Application

标准型号/Plasma Cleaning Standard

JRP从事等离子相关业务10年以上，在等离子应用方面积累了大量的理论和实践经验，公司设有生产车间、实验室，不断地研发新型设备的制造技术以满足大量的客户需。

	P3C型等离子清洗机 P3C - Plasma Cleaning System 射频电源：40KHz / 0-200W连续可调 Generator: 40KHz / 0-200W 不锈钢真空舱：Φ125mm×L240mm 约3L Vacuum chamber: Φ125mm×L240mm approx.3L 机箱规格：W552mm×H254mm×D420mm Basic Size: W552mm×H254mm×D420mm 控制系统：手动控制（标配） Controls: Manual control 真空泵：抽速约7.2m3/h Vacuum pumps: 7.2m3/h 处理气体：1气路 Gas supply: 1Gas 托盘：1层 Tray: 1 Piece

	P4C-RTR型卷轴等离子清洗机 P4C-RTR - Roll To Roll Plasma Cleaning System 射频电源：40KHz / 0-300W连续可调 Generator: 40KHz / 0-300W 不锈钢真空舱：W200mm×H200mm×D100mm 约4L Vacuum chamber: W200mm×H200mm×D100mm approx.4L 机箱规格：W600mm×H1000mm×D600mm Basic Size: W600mm×H1000mm×D600mm 控制系统：触摸屏控制 Controls: Touch screen PLC control 真空泵：抽速约8m3/h Vacuum pumps: 8m3/h 处理气体：2气路 Gas supply: 2Gas 可处理幅宽：10mm Film width: 10mm 可处理最大直径：90mm The max. diameter: 90mm 收卷速度：0-120mm/s Winding speed: 0-120mm/s

	P8C型等离子清洗机 P8C - Plasma Cleaning System 射频电源：40KHz / 0-300W连续可调 Generator: 40KHz / 0-300W （可选装13.56MHz / 0-150W） Optional: 13.56MHz / 0-150W 不锈钢真空舱：Φ210mm×L260mm 约8L Vacuum chamber: Φ210mm×L260mm approx.8L 机箱规格：W600mm×H850mm×D600mm Basic Size: W600mm×H850mm×D600mm 控制系统：触摸屏控制 Controls: Touch screen PLC control 真空泵：抽速约8m3/h Vacuum pumps: 8m3/h 处理气体：2气路 Gas supply: 2Gas 托盘：1层 Tray: 1 Piece

	P30C-台式型等离子清洗机 P30C - Plasma Cleaning System(Desktop) 射频电源：40KHz / 0-1000W连续可调 Generator: 40KHz / 0-1000W （可选装13.56MHz / 0-300W） Optional: 13.56MHz / 0-300W 不锈钢真空舱：W305mm×H300mm×D370mm 约30L Vacuum chamber: W305mm×H300mm×D370mm approx.30L 机箱规格：W600mm×H1100mm×D800mm Basic Size: W600mm×H1100mm×D800mm 控制系统：触摸屏控制 Controls: Touch screen PLC control 真空泵：抽速约16m3/h Vacuum pumps: 16m3/h 处理气体：2气路（最多可选装4气路） Gas supply: 2Gas 托盘：1-4层 Tray: 1-4 Piece

	P30C型等离子清洗机 P30C - Plasma Cleaning System 射频电源：40KHz / 0-1000W连续可调 Generator: 40KHz / 0-1000W （可选装13.56MHz / 0-300W） Optional: 13.56MHz / 0-300W 不锈钢真空舱：W305mm×H300mm×D370mm 约30L Vacuum chamber: W305mm×H300mm×D370mm approx.30L 机柜规格：W600mm×H1700mm×D800mm Basic Size: W600mm×H1700mm×D800mm 控制系统：触摸屏控制 Controls: Touch screen PLC control 真空泵：抽速约16m3/h Vacuum pumps: 16m3/h 处理气体：2气路（最多可选装4气路） Gas supply: 2Gas(Max. 4Gas) 托盘：1-4层 Tray: 1-4 Piece

	P60C型等离子清洗机 P60C - Plasma Cleaning System 射频电源：40KHz / 0-1500W连续可调 Generator: 40KHz / 0-1500W （可选装13.56MHz / 0-600W） Optional: 13.56MHz / 0-600W 不锈钢真空舱：W400mm×H400mm×D400mm 约64L Vacuum chamber: W400mm×H400mm×D400mm approx.64L 机柜规格：W600mm×H1700mm×D800mm Basic Size: W600mm×H1700mm×D800mm 控制系统：触摸屏控制 Controls: Touch screen PLC control 真空泵：抽速约30m3/h Vacuum pumps: 30m3/h 处理气体：2气路（最多可选装4气路） Gas supply: 2Gas(Max. 4Gas) 托盘：1-6层 Tray: 1-6 Piece

	P100C型等离子清洗机 P100C - Plasma Cleaning System 射频电源：40KHz / 0-1500W连续可调 Generator: 40KHz / 0-2000W （可选装13.56MHz / 0-600W） Optional: 13.56MHz / 0-1000W 不锈钢真空舱：W490mm×H540mm×D400mm 约100L Vacuum chamber: W490mm×H540mm×D400mm approx.100L 机柜规格：W800mm×H1900mm×D800mm Basic Size: W800mm×H1900mm×D800mm 控制系统：触摸屏控制 Controls: Touch screen PLC control 真空泵：抽速约60m3/h Vacuum pumps: 60m3/h 处理气体：2气路（最多可选装4气路） Gas supply: 2Gas(Max. 4Gas) 托盘：1-8层 Tray: 1-8 Piece

	P150C型等离子清洗机 P150C - Plasma Cleaning System 射频电源：40KHz / 0-2500W连续可调 Generator: 40KHz / 0-2500W （可选装13.56MHz / 0-1250W） Optional: 13.56MHz / 0-1250W 不锈钢真空舱：W490mm×H560mm×D480mm 约132L Vacuum chamber: W490mm×H560mm×D480mm approx.132L 机箱规格：W800mm×H2100mm×D800mm Basic Size: W800mm×H2100mm×D800mm 控制系统：触摸屏控制 Controls: Touch screen PLC control 真空泵：抽速约60m3/h Vacuum pumps: 60m3/h 处理气体：2气路（最多可选装4气路） Gas supply: 2Gas(Max. 4Gas) 托盘：1-8层 Tray: 1-8 Piece

	P600C型等离子清洗机 P600C - Plasma Cleaning System 射频电源：40KHz / 0-5000W连续可调 Generator: 40KHz / 0-5000W 不锈钢真空舱：W1000mm×H1100mm×D560mm 约620L Vacuum chamber: W1000mm×H1100mm×D560mm approx.620L 机柜规格：W600mm×H1700mm×D800mm Basic Size: W600mm×H1700mm×D800mm 控制系统：触摸屏控制 Controls: Touch screen PLC control 真空泵：抽速约500m3/h Vacuum pumps: 500m3/h 处理气体：2气路（最多可选装4气路） Gas supply: 2Gas(Max. 4Gas) 托盘：1-10层 Tray: 1-10 Piece

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