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多弧离子镀膜设备



        多弧离子镀膜机由镀膜室、N个电弧靶、弧电源,真空获得系统、旋转工件架、管状加热器、气路系统、水路系统、控制系统等组成。

多弧离子镀膜设备应用

  • 工具镀:以高速钢和硬质合金制成的切削刀具经镀膜后可提高工具表面硬度和自润滑性,大幅度提高工具寿命,模具镀膜后也有提高寿命的效果。
  • 装饰镀:不锈钢家具、展示架、不锈钢工程制品、门锁、拉手、工艺品、汽摩配改装件、灯饰、高尔夫球头等


多弧离子镀膜设备参数

  • 舱体尺寸:1000×1200、1150×1200、1200×1300、1400×1300、1600×1300
  • 电源类型:直流电源、中频电源、电弧电源、灯丝电源、活化电源、脉冲偏压电源
  • 多弧靶:多弧靶5个或18个,1个或2个柱弧靶
  • 孪生靶:中频孪生柱靶或平面靶1-4对
  • 舱体结构:立式前开门结构(双层水套或水槽式冷却)、后置抽气系统
  • 真空系统:滑阀泵+罗茨泵+扩散泵+维持泵(可选装:分子泵、深冷泵、深冷系统)
  • 加热系统:常温至350度可调可控(PID控温),不锈钢加热管加热
  • 气路系统:1-4路MFC
  • 极限真空:6×10-4pa(空载)
  • 抽气时间:空载大气抽至5×10-3pa小于13分钟
  • 保压率:1h≤0.6pa
  • 旋转方式:上旋转或下旋转+公自转变频无级可控可调,0-20转/分
  • 控制方式:全自动、触摸屏+PLC


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